美国 KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC 系列

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  • 发布日期:2020-11-20 14:12
  • 有效期至:长期有效
  • 招商区域:全国
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产品描述

上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 考夫曼离子源 KDC 系列. 离子束可选聚焦/ 平行/ 散射.

离子束流: >10 mA~650 mA; 离子动能: 100-1200 V; 中和器: 灯丝.

加热灯丝产生电子, 增强设计输出高质量, 稳定的电子流.

离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装.

通入气体可选 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others.

考夫曼离子源 KDC 系列包含多种不同尺寸的离子源满足各类应用. 可以直接整合在各类真空设备中, 例如实验室小型研发, 镀膜机, load lock, 溅射系统, 卷绕镀膜机和线性镀膜.

美国 KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC 系列 产品优势:

伯东美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 特性:

1.通过加热灯丝产生电子

2.低电流高能量宽束型离子源
美国 KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC 系列 应用领域:

KRI 考夫曼离子源 KDC 应用:

1.辅助镀膜(光学镀膜) IBAD

2.溅镀&蒸镀 PC

3.表面改性激活 SM

4.沉积 DD

5.离子溅射沉积和多层结构 IBSD

6.离子蚀刻 IBE

 
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